本设备采用分体模块化设计,采用钟罩升降结构,炉盖炉体可单独升降打开,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,布局整洁大方。
·主要技术参数1.***高加热温度: 2000℃2.功率: 60Kw±10%单相整流2.冷态极限真空度: ≤5×10E-3Pa3.压升率: ≤2Pa/h4.炉体尺寸: Ф750×1000mm(直径×高)5.测温系统: 热电偶6.控温精度: ±0.1℃,采用欧陆温控仪表7.加热区: 一区8.坩埚升降参数: 位移行程 200mm 慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm 快速升降50-200mm/min(伺服控制)
9·炉内充气压力: ≤0.05MPa10·充放气系统: 两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)结构组成1、炉盖 2、炉体 3、钟罩升降装置 4、发热体和隔热屏 5、真空系统 6、温控系统 7、整流变压器及联接电缆 8、冷却水分配系统9、坩埚升降系统 10、炉盖升降装置构
成套供应范围1. 壳体(炉盖、炉体和炉底) 1套2. 钟罩升降系统 1套3. 整流变压器 1台4. 热电偶(钨铼热偶) 2支5. 控制系统 1套6. 汇流水管 1套7. 安全装置 1套8、炉盖升降装置 1套9、坩埚升降系统 1套10、真空系统 1套11·发热体及隔热屏 1套12、说明书及技术资料 1份
钟罩式晶体生长炉
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
|
详细信息
相关产品
相关晶体生长产品
- 钟罩式晶体生长炉2019-12-05
- 钨坩埚生产厂家,晶体生长钨坩埚,蒸镀钨坩埚,钨铜合金坩埚2020-04-30
- 高温钼料架 钼料框晶体生长炉 高温真空炉钼料架钼料栅2025-02-10