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钟罩式晶体生长炉
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发布时间: 2019-12-05 13:15
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详细信息
本设备采用分体模块化设计,采用钟罩升降结构,炉盖炉体可单独升降打开,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,布局整洁大方。

·主要技术参数1.***高加热温度:               2000℃2.功率:                       60Kw±10%单相整流2.冷态极限真空度:             ≤5×10E-3Pa3.压升率:                     ≤2Pa/h4.炉体尺寸:                 Ф750×1000mm(直径×高)5.测温系统:                   热电偶6.控温精度:                   ±0.1℃,采用欧陆温控仪表7.加热区:                     一区8.坩埚升降参数:               位移行程 200mm                               慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm    快速升降50-200mm/min(伺服控制)
9·炉内充气压力:             ≤0.05MPa10·充放气系统:               两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)结构组成1、炉盖                         2、炉体      3、钟罩升降装置                4、发热体和隔热屏  5、真空系统                    6、温控系统      7、整流变压器及联接电缆         8、冷却水分配系统9、坩埚升降系统                 10、炉盖升降装置构                                
成套供应范围1.  壳体(炉盖、炉体和炉底)                        1套2.  钟罩升降系统                                    1套3.  整流变压器                                      1台4.  热电偶(钨铼热偶)                             2支5.  控制系统                                        1套6. 汇流水管                                         1套7. 安全装置                                         1套8、炉盖升降装置                                    1套9、坩埚升降系统                                     1套10、真空系统                                       1套11·发热体及隔热屏                                  1套12、说明书及技术资料                                1份
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